随着5G通信、人工智能、新能源汽车等产业的飞速发展，对高端半导体器件的需求呈爆炸式增长。外延作为制造射频前端芯片、功率器件和高端光源的核心工艺，其质量直接决定了芯片的性能与良率。
该项目作为大湾区重点项目之一，建成后将成为碳化硅(SiC)外延片产业链的强大引擎，打造高端晶片制造业的行业典范，助力半导体产业发展。本次项目将打造具有国际竞争力的“总部+制造+配套”一体化产业综合体。
半导体外延晶片净化工程项目涉及恒温恒湿环境系统、内装工程、智能化与自控系统项目、暖通、电气工程、PCW工艺冷却水、RO/DI反渗透、压缩空气等综合性建设项目。合景净化工程公司为客户提供车间整体规划、设计、采购、施工、调试交付等全过程EPC总承包服务。
十级电子净化工程装修注意事项：
洁净区封闭管理：采用气密性良好的围挡材料，将施工区域与外部环境完全隔离。设置独立的人员、物料进出口，并安装风淋室、传递窗等净化设备。人员进出必须更换洁净服、鞋套，佩戴口罩、手套，经过风淋除尘后方可进入。
空气净化系统：施工过程中，持续开启空气净化系统，确保洁净区内的空气始终处于净化状态。根据施工进度和区域，合理调整送风量和换气次数，保证洁净区的洁净度等级不低于设计要求。定期对空气进行检测，实时监测空气中悬浮粒子的数量和粒径分布。
温湿度控制：严格控制洁净区内的温湿度，温度一般保持在22±2℃。相对湿度控制在45%-65%。安装温湿度传感器，实时监测并反馈数据，通过空调系统进行精准调节。确保洁净区与相邻区域之间保持合理的压力差，一般洁净区相对非洁净区保持5-10Pa的正压。
材料和设备检验：所有进入施工现场的材料和设备必须具备质量合格证明文件，并按照相关标准进行检验。对于净化工程中常用的彩钢板、高效过滤器、风管等材料，要检查其规格、型号、性能是否符合设计要求。设备方面，要对空调机组、风机等设备进行试运行，确保其性能稳定、运行正常。
空调机组安装：车间内空调机组是空气处理的核心设备，其安装位置要合理，便于操作和维护。在安装过程中，要保证机组的水平度和垂直度，连接管道要密封良好，防止空气泄漏。机组安装完成后，要进行调试和试运行，检查机组的各项性能指标是否符合设计要求。
电气系统要求：电子净化工程的电气系统要满足洁净、安全、可靠的要求。电线电缆的敷设要采用暗敷或桥架敷设方式，避免在净化区域内明敷。电气设备的安装要牢固、整齐，接地良好。在净化区域内使用的灯具、开关等电气设备要选择密封性好、易于清洁的产品。
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