检查电子无尘车间工作正常所进行的各项测试中，其中一项就是对室内气流的检查。这是整个测试程序的重要组成部分。为了稀释或消除室内的悬浮污染，从而防止污染在室内的积累，室内必须有充分的气流流动，所以对气流必须进行检测。

在紊流洁净室中，风的输送和混合都是紊流方式进行的。为确保污染物被清楚，电子无尘车间的各个部分必须均实现良好的空气混合。在单向流净化车间中，为保证关键区域达到理想洁净的水平，其送风直接来自高效过滤器。

电子无尘车间垂直层流式方向要保持均一气流必须：

（1）吹出面的风速不可有速度上的差异；
（2）地板回风板吸入面之风速不可有速度上的差异。速度过低或过高(0.2m/s，0.7m/s)均有涡流之现象发生，而0.5m/s之速度，气流则较均一，目前一般洁净室，其风速均取在0.25~0.5m/s之间。

影响洁净室的气流因素很多，如制程设备、人员、洁净室组装材、照明器具等，同时对于生产设备上方气流的分流点，亦应列入考虑因素。

电子无尘车间一般操作台或生产设备等表面的气流分流点，应设于洁净室空间与隔墙板间距2/3之处，如此可使作业人员工作时，气流可从制程区内部流向作业区，而将微尘带走；若分流点配置在制程区前方，将成为不当的气流分流，此时大部份的气流将流至制程区之后，作业员操作所引起的尘埃将被带到设备后面，工作台因而将受到污染，良率也势必降低。
无尘车间内的工作台等障碍物，在相接处均会有涡流现象发生，相对地在其附近之洁净度将会较差，在工作桌面钻上回风孔，将使涡流现象减少变得很低；组装材料选择是否恰当、设备布局是否完善，亦为气流是否成为涡流现象之重要因素。

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