随着各类产品生产工艺技术、产品性能的不断研究开发、升级和各种使用要求，工业装修对空气洁净度及污染物的控制要求不断变化、提高，尤其是5G热潮袭来、半导体集成电路的高速发展是洁净度等级的扩大和控制微粒粒径日益严格的重要标志。

       千级净化车间的应用较为广泛，在医院手术室、机械电子等行业的装修设计中洁常有使用。千级洁净室指的是微尘数量被控制在每立方米1000个以内，同时为了防止洁净空间受外界污染，在室内压差上也有所要求，通常要求内部压力（静压）＞外部压力（静压）；洁净度要求高的空间压力＞洁净度要求低的空间压力；洁净室门的朝向应开向洁净度级别高的房间。

千级净化车间装修设计标准和一般做法，合景净化工程公司整理了下文：

一、工程概括
\r\n        半导体净化车间设计范围包括：装修方案（围护、地面防水保温处理），暖通方案（空调设备、风管、水管等），特气供应方案（特气柜含保险控制、房间气体检测、EP级管道及BA及管道。供应气管尾气处理），压缩空气方案，废气处理方案（仪器设备POU处理、房间排风废气处理）电气方案（空调设备动力配电等），弱点工程，集成控制智能平台，纯水方案（冷却水、去离子水、超纯水、水管等），废气处理。

二、结构围护工程
\r\n        墙板及吊顶：本工程隔墙采用企业口型机制玻镁岩棉夹芯板0.426，玻镁岩棉彩钢板符合洁净厂房二级消防要求，玻镁岩棉彩钢夹芯板具有1000℃的耐火性能，耐火等级达到A级。岩棉密度：≥100kg/m3；导热系数：≤0.046w/m.k；燃烧性能：A级（不燃）。耐火极限为30-120分钟。广泛应用于食品、电子、医药、饮料、生物研究等行业。
\r\n        地板：本宫车间内地面采用防静电型PVC地板，其中千级和百级车间采用防静电型加高钢板，其它为普通型PVC地板。PVC地板是当今世界上非常流行的一种新型轻体地面装饰材料，也称为“轻体地材”使用非常广泛。 

三、暖通工程
\r\n        设备：空调制冷负荷：经统计计算，总冷负荷约500kw。采用恒温恒湿洁净空调，夏季采用磁悬浮水冷机组，冬季采用厂区锅炉热水供热。
\r\n        风管：风管采用共板法兰风管。
\r\n        水管：空调水管采用无缝钢管。水泵采用星 三角降压启动。
四、特种气体工程
\r\n        工艺气体种类多，纯度高，并且易燃易爆有毒。安全问题突出，为保证系统的安全和稳定可靠，建议采用进口成熟产品。
\r\n        英文mocvd生长使用的源是易燃、易爆、毒性很大的物质，并且要生长多组分，大面积，薄层和超薄层异质材料，因此在mocvd系统的设计思想上，通常要考虑系统密封性要好，流量、温度控制要精确，组分变换要迅速，系统要紧凑等。核心工作是气体输运系统和尾气处理系统。
五、空压机工程
\r\n        螺杆式空压机组主要有以下系统组成：空气流程系统，润滑油流程系统、冷却系统、安全保护系统、控制系统及电气线路。螺杆式空压机组要压缩机、电动机、空气滤清器、进气阀、油气桶、空气冷却器、润滑油冷却器压力开关、单向阀、储气罐、压力表、自动排水器、安全阀等设备部件。另外在空压机系统中大多配置冷干机和空气干燥器。
六、废气工程
\r\n        合景净化工程公司认为，由于半导体工艺对操作是清洁要求极高，通常使用风机抽取工艺过程中挥发的各类废气，因此半导体行业废气排放有排气量大、排放浓度小的特点。废气排放也以挥发为主。表中给出了不同生产工艺排放的废气组成。这些废气排放主要可以分为四类：酸性气体、碱性气体、有机废气和有毒气体。  

       对酸性气体、碱性气体的处理一般采用湿式洗涤塔技术。
       对于有机废气采用吸附、焚烧或两者相结合的处理方法。因为半导体工艺工程中有机废气具有排放流量大（通常大于11039m3/小时）和浓度低（通常小于25ppmv）的特点，使用其他的处理技术难以达到令人满意的处理效率。沸石浓度缩转轮后再吸附或焚烧。

七、电气工程
       空调动力电工程；统计总用量电量约830kw，空调用电约330kw。
       动力（镀锌线槽）沿墙体及天花敷设，再分支车间及设备电箱，安装在楼板下。主电缆采用YJV型号。
八、弱点系统工程
       1：高清视频监控 系统采用1200w网络监控摄像机，通过千兆交换组网在机房中心进行集中存储，系统设计7*24小时间断运行，实现1080p存储1个月以上，管理人员可通过电脑进行监控查看，录像回放等操作。
       2：门禁管理系统 门禁系统已成为安防系统极其重要的组成部分，门禁系统将监控被动防范的方式进行了主动防范补充。通过网络一体式门禁管理机，配合门禁专用电源。电磁锁可将主要出入口设置为授权式管理，避免了与车架无关人员的频繁出入。
九、只能平台
\r\n        洁净系统中的风量控制采用文丘李阀门，实时监控流量计状态，可在先诊断。并可以维持房间压力、温度、湿度的平稳可靠。中控室中把空调、特气、纯水、监控、房间温湿度等参数集成管理、显示、储存，并对数据进行打印输出及溯源查找。并经设备输出在参观通道播放，方便参观。
十、纯水工程
       1：设备产水能力：
       2：RO系统：一级RO反渗透产水量≥8m3/h（水温保证在25℃时）；
\r\n  二级RO反渗透产水量≥6m3/h（水温保证在25℃时）；
       3：EDI系统：EDI产量水量≥5m3/h（水温在25℃时）
       4：终端抛光混床产水能力为：≥5m3/h（水温保证在25℃时）
       5：设备产水水质指标：
\r\n         终端抛光混床产水能力为：≥18.00MΩ.com（水温保证在25℃时，测点在抛光混床出口3米内，95%时间）
其他技术指标参照我国的电子级水电技术指标（GB11446.1-1977)EW-1

       由于设备用水的级别各不相同，可以在本设计流程中的某段引出合适的使用点即可。对于超纯水必须采用UPVC材质（因金属管道会析出离子），特别对于园晶的生产，超纯水会对额定的离子限值严格，所以采用进口的UPVC纯水管道对产品质量有保证。
十一、废气处理工程

       半导体制造及封装测试的各个工艺步骤都有大量的废水产生，主要以酸碱废水、含氟废水、有机废水为主。

十二、千级净化车间的装修设计标准

       1. 千级净化车间的建筑通常划分为土建结构和装配式两种，其中装配式更为普遍，主要包括由初级、中级、高级空气过滤器构成的空调送回风系统、排风系统及其他配套系统。

       2. 千级净化车间的室内空气参数设置要求：

① 温湿度要求：温度一般为24+2℃，相对湿度为55+5％。

② 新风量：非单向流洁净室总送风量的10-30％；补偿室内排风和保持室内正压值所需的新鲜空气量；保证室内每人每小时的新鲜空气量≥40m3/h。

③ 送风量：要满足无尘车间内的洁净度及热湿平衡。

十三、千级净化车间的一般做法

       关于千级净化车间的一般做法，合景净化工程公司将以电路板千级净化车间的三种设计方案来比较分析。此处案例为柔性电路板EPC总承包项目中的一个典型工艺房间，温湿度要求在（21±2）℃，湿度控制在（55±10）%。

       1. 方案一：AHU（空调机组）+HEPA（高效送风口）

       2. 方案二：MAU（新风机组）+RAU（循环机组）+HEPA（高效送风口）

       3. 方案三：AHU（空调机组）+FFU（风机过滤单元）

       对比三种方案发现三种方案造价差异不大，但方案三由于使用了大量循环风且只经过一次高效过滤，在运行能耗上相比方案一和方案二消耗更少。